Zn 기반 산화물 트랜지스터 소자의 이해 및 연구 현황

Understanding of degradation mechanism
of ZnO-based oxide TFTs.pdf

최근 AMOLED 디스플레이의 경우 TFT-LCD 산업에 대하여 그 영역을 확장하고 가격경쟁력의 확보를 위해서는 대형화가 필수적인 과제 이다. 하지만 대량 생산 및 가격 혁신은 생산라인의 구축 및 기술적인 많은 도전과제가 산재해 있다. 본 강연에서는 우선 무정형 Si 및 폴리 Si TFT의 장단점 및 문제점에 대해서 알아보고 AMOLED의 성공에 대한 기술적인 이슈에 대해서 논의 한다. 그리고 Si-TFT의 대체로 최근 가장 많은 각광을 받고 있는 ZnO를 기반으로 한 TFT에 대해서 소개하고자 한다. TFT 소자구성에 있어서 중요한 이동도, SS, 접촉저항등의 관점에서 oxide TFT에 대한 신뢰성 및 소자 특성에 대한 이해를 하고자 한다. 특히 oxide TFT의 degradation 기작에 대한 외부 환경 요인인 산소, 수분 등에 대한 체계적인 분석을 통해 최종적으로 oxide TFT의 특성 및 신뢰성 향상을 위한 전략을 제시하고자 한다.

2009.12.10

KRICT 세미나(3차)

인하대학교 / 정재경

 

Source : KIRCR